PW/BIOFIM/01
Nazwa Centrum
Centrum Technologii Biomedycznych i Fizyki Medycznej PW
Nazwa labolatorium
Laboratorium Technik Projektowania i Wytwarzania Biomateriałów
Lokalizacja:
Politechnika Warszawska
Nazwa aparatury:
Uniwersalne urządzenie do obróbek CVD (chemical vapour deposition)
Opis aparatury:
Urządzenie do realizacji procesów MWCVD i RFCVD składa się z komory reakcyjnej, układu pompowego, elektrody mikrofalowej (MF) systemu ECR (elektron cyklotron rezonans) wraz z zasilaczem mikrofalowym. Wyposażone jest także w system dozowania gazów, zasilacz o częstotliwości radiowej oraz całkowicie zautomatyzowany układ sterowania i kontroli . Ponadto w jego skład wchodzi optyczny spektrometr emisyjny. Urządzenie służy do wytwarzania warstw węglowych (m.in.DLC, amorficznego uwodornionego węgla modyfikowanego azotem) na biomateriałach polimerowych, metalicznych, i kompozytowych.